產(chǎn)品
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- CDX系列化工螺桿真空泵
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- iXL系列半導(dǎo)體真空干泵
- EPX系列半導(dǎo)體真空干泵
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產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
STPA1303C Edwards渦輪分子泵是為半導(dǎo)體應(yīng)用而設(shè)計(jì)的磁懸浮渦輪分子泵。
STPA1303C Edwards渦輪分子泵是Edwards 的轉(zhuǎn)子可實(shí)現(xiàn)的性能和大的制程靈活性。STPA1303C 已經(jīng)由半導(dǎo)體和磁介質(zhì)行業(yè)的大型設(shè)備制造商投入使用，并得到了。
詳情介紹：
概述
Edwards STPA1303C 是為半導(dǎo)體應(yīng)用而設(shè)計(jì)的渦輪分子泵。Edwards 的轉(zhuǎn)子可實(shí)現(xiàn)的性能和大的制程靈活性。STPA1303C 已經(jīng)由半導(dǎo)體和磁介質(zhì)行業(yè)的大型設(shè)備制造商投入使用，并得到了。
應(yīng)用
金屬（鋁）、鎢和電介質(zhì)（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
濺射
離子注入源，射束線泵送端點(diǎn)站
MBE
擴(kuò)散
光致抗蝕劑脫模
晶體/晶膜生長
晶片檢查
負(fù)載鎖真空腔
科學(xué)儀器：表面分析、質(zhì)譜分析、電子顯微鏡
高能物理：射束線、加速器
放射線應(yīng)用：融合系統(tǒng)、回旋
功能和優(yōu)勢
的轉(zhuǎn)子
更高的氣體吞吐量
大的制程靈活性
無油
低振動(dòng)
高度
免維護(hù)
可用于嚴(yán)苛制程
使用壽命延長
的控制器設(shè)計(jì)
自動(dòng)調(diào)整
自行診斷功能
直流電機(jī)驅(qū)動(dòng)
無電池運(yùn)行
緊湊型設(shè)計(jì)
占地面積小
水冷卻
Edwards STPA1303C 是為半導(dǎo)體應(yīng)用而設(shè)計(jì)的渦輪分子泵。Edwards 的轉(zhuǎn)子可實(shí)現(xiàn)的性能和大的制程靈活性。STPA1303C 已經(jīng)由半導(dǎo)體和磁介質(zhì)行業(yè)的大型設(shè)備制造商投入使用，并得到了。
應(yīng)用
金屬（鋁）、鎢和電介質(zhì)（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
濺射
離子注入源，射束線泵送端點(diǎn)站
MBE
擴(kuò)散
光致抗蝕劑脫模
晶體/晶膜生長
晶片檢查
負(fù)載鎖真空腔
科學(xué)儀器：表面分析、質(zhì)譜分析、電子顯微鏡
高能物理：射束線、加速器
放射線應(yīng)用：融合系統(tǒng)、回旋
功能和優(yōu)勢
的轉(zhuǎn)子
更高的氣體吞吐量
大的制程靈活性
無油
低振動(dòng)
高度
免維護(hù)
可用于嚴(yán)苛制程
使用壽命延長
的控制器設(shè)計(jì)
自動(dòng)調(diào)整
自行診斷功能
直流電機(jī)驅(qū)動(dòng)
無電池運(yùn)行
緊湊型設(shè)計(jì)
占地面積小
半機(jī)架控制器
數(shù)據(jù)
| 入口法蘭 | ISO200F |
| KF40 | |
| 吹掃口 | KF10 |
| 水冷卻接頭 | PT1/4 |
| 抽速 |
|
| N2 | 1300 ls-1 |
| H2 | 800 ls-1 |
| 壓縮比 |
|
| N2 | >108 |
| H2 | 103 |
| 加熱時(shí)的極限壓力 | 10-7 Pa |
|
|
(10-9 Torr) |
| 大連續(xù)壓力 | 270 Pa |
|
|
(2 Torr) |
| 大氮?dú)馔掏铝?/span> | 1500 sccm |
| 額定速度 | 32500 rpm |
| 啟動(dòng)時(shí)間 | 7 分鐘 |
| 高入口法蘭溫度 | 120 °C |
| 輸入電壓 | 200 至 240 (± 10) V 交流 |
| 功耗 | 0.85 kVA |
| 泵重量 | 39 kg |
| 控制器重量 | 9 kg |
水冷卻
