產(chǎn)品
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- ES系列單級旋片泵
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- nXLi系列干式真空泵
- EDC系列爪式真空泵
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- STP系列渦輪分子泵
- Stokes滑閥泵
- Stokes 6羅茨泵
- D-LAB系列隔膜真空泵
- nEXPT系列分子泵站
- nEXT系列渦輪分子泵
- EDP系列化工爪式干泵
- CXS系列化工螺桿真空泵
- CDX系列化工螺桿真空泵
- HT系列油蒸汽擴散泵
- iH系列半導體真空干泵
- iXH系列半導體真空泵
- iXL系列半導體真空干泵
- EPX系列半導體真空干泵
- GX系列半導體干式泵
產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
EPX500N Edwards半導體高真空干泵使用了的保護機械裝置，能夠從大氣壓抽空到小于7x10-5Torr的極限壓力。
EPX500N Edwards半導體高真空干泵用于泵送惰性氣體混合物（如負荷鎖定）且通過制程機臺接口提供控制的清潔工作應用。
詳情介紹：
EPX500N Edwards半導體高真空干泵概述
新的緊湊型 EPX500N高真空干泵的特性是：工作性能，運行成本更低。EPX500 使用了的保護機械裝置，能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的極限壓力。
模塊化 EPX500N基于備受贊譽、大獲成功的 IPX 系列，可提供的性能，與 IPX 相比，包裝重量輕了 20%、體積小了 30% 且功率降低了 40%。
EPX500N Edwards半導體高真空干泵應用
負載鎖
傳輸腔
PVD 濺射
灰化/PR 剝離
電介質(zhì)刻蝕
EPX 系列涵蓋的應用，從水處理到中度工作負載的制程。
EPX“N”系列包括一個可提供氮清洗的氣體模塊，從而可將應用范圍擴大為中等制程，在這類制程中預期存在的腐蝕性蒸汽和微粒的程度較低。
EPX500N Edwards半導體高真空干泵功能和優(yōu)勢
緊湊的占地面積 – 作為可用的工具上泵之一，EPX 節(jié)省了占地面積。EPX 可以直接安裝到工具上，從而節(jié)省了前級管道和安裝成本，如果需要也可遠程安裝。
低運行成本 - EPX 僅需要 1.4 kW 的功率和整合空閑模式，從而可大化功率效率。
的保護機械裝置 – EPX 可以從大氣壓抽空到渦輪分子基準壓力，并可以在進氣口壓力下連續(xù)工作。
清潔機械裝置 – 傳統(tǒng)的高真空軸承底油脂使用油脂潤滑，這可能成為制程工具中污染源。EPX 泵沒有高真空軸承底油脂，并且不存在任何其他的潛在污染源。
– EPX 基于經(jīng)過現(xiàn)場驗證的 IPX ，具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，大約每 5 年維修一次，大程度地延長了泵的使用壽命。
新的緊湊型 EPX500N高真空干泵的特性是：工作性能，運行成本更低。EPX500 使用了的保護機械裝置，能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的極限壓力。
模塊化 EPX500N基于備受贊譽、大獲成功的 IPX 系列，可提供的性能，與 IPX 相比，包裝重量輕了 20%、體積小了 30% 且功率降低了 40%。
EPX500N Edwards半導體高真空干泵應用
負載鎖
傳輸腔
PVD 濺射
灰化/PR 剝離
電介質(zhì)刻蝕
EPX 系列涵蓋的應用，從水處理到中度工作負載的制程。
EPX“N”系列包括一個可提供氮清洗的氣體模塊，從而可將應用范圍擴大為中等制程，在這類制程中預期存在的腐蝕性蒸汽和微粒的程度較低。
EPX500N Edwards半導體高真空干泵功能和優(yōu)勢
緊湊的占地面積 – 作為可用的工具上泵之一，EPX 節(jié)省了占地面積。EPX 可以直接安裝到工具上，從而節(jié)省了前級管道和安裝成本，如果需要也可遠程安裝。
低運行成本 - EPX 僅需要 1.4 kW 的功率和整合空閑模式，從而可大化功率效率。
的保護機械裝置 – EPX 可以從大氣壓抽空到渦輪分子基準壓力，并可以在進氣口壓力下連續(xù)工作。
清潔機械裝置 – 傳統(tǒng)的高真空軸承底油脂使用油脂潤滑，這可能成為制程工具中污染源。EPX 泵沒有高真空軸承底油脂，并且不存在任何其他的潛在污染源。
– EPX 基于經(jīng)過現(xiàn)場驗證的 IPX ，具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，大約每 5 年維修一次，大程度地延長了泵的使用壽命。
可兼容的網(wǎng)絡 - EPX 系列配有終用戶控制，可以連接到結構的網(wǎng)絡，以進行診斷監(jiān)視和控制。
EPX500N Edwards半導體高真空干泵數(shù)據(jù)
| 峰值速度 | 500 m3h-1 |
|
|
295 ft3min-1 |
|
|
8338 lmin-1 |
| 極限真空 |
|
|
|
<1 x 10-6 mbar |
|
|
<7 x 10-7 Torr |
|
|
<1 x 10-4 Pa |
| 預熱時間（達到標稱性能） | 30 分鐘 |
| 入口法蘭 | ISO160 |
| 法蘭 | NW25 |
| 噪音 | <59 dB(A) |
| 冷卻水流速 | 2 lmin-1 |
| 冷卻水溫度 | 15 – 35°C |
| 氮氣供給接口 | 1/4 in (6.5 mm) 管 |
| 氮氣供給壓力 | 3 x 105 – 7 x 105 Pa |
| 低氮純度 | 99.95% |
| 電源供給 | 200/208 V，50/60 Hz，3 相 |
| 極限功率 | 1.4 kW |
| 電機額定功率 | 3.0 kW |
| TIM | C3 |
| 重量 | 45.2 kg |
